LCD压合无尘烘烤箱使用特点

LCD压合无尘烘烤箱作为液晶显示屏制造中的关键设备，其技术特点直接影响面板良率。该设备采用多层不锈钢腔体设计，内壁经电解抛光处理达到镜面效果，配合HEPA高效过滤系统可实现100级无尘环境。温控系统采用PID+SSR智能算法，温控精度达±0.5℃，支持10段可编程升温曲线，满足不同OCA胶材的固化需求。独创的气浮式承盘设计通过均压孔阵列实现0.02mm/m²的平面度，配合真空压合模块可使贴合气泡率低于0.001%。LCD压合无尘烘烤箱集成FFU层流循环系统，风速可调范围0.3-0.5m/s，确保温度均匀性偏差≤1.5℃。安全方面具备三重过温保护、气压联锁装置和VOC排放监测功能，符合ISO14644-1洁净标准和SEMI S2安全规范。通过MES系统对接可实现工艺参数追溯和远程诊断，显著提升G8.5代线以上大尺寸面板的压合良品率。