在半导体制造、LCD面板生产及精密电子封装领域,微量氧分子与水汽是导致产品氧化、劣化的头号大敌。针对这一工艺痛点,志昇半导体无氧化烤箱凭借极致的洁净度控制与精准的热场管理,为高端制程提供了可靠的烘烤解决方案。
核心应用场景:
本设备专攻IC封装、LED固晶烘烤、LCD液晶干燥及晶圆烘烤等环节。在200℃至400℃的高温作业中,它能有效杜绝铜、银等敏感材料氧化,显著提升芯片推力与产品信赖性,完美匹配先进封装及化合物半导体的严苛需求。
尖端技术特点:
超低氧环境营造:采用多级气体置换与高效密封结构,箱内氧浓度可稳定控制在10ppm以下(可选配低至1ppm等级),搭配独立温控系统,杜绝外界污染侵入。
±0.5℃高均匀温场:独有风道设计与高精度PID演算,确保腔体内部温度均匀性,彻底解决局部过烘或欠烘问题,保障批量产品一致性。
耐材革新与洁净保障:内胆选用316L镜面不锈钢,加热源隔离设计,配合Class 10级高洁净度过滤系统,实现无尘、无颗粒污染的热处理环境。
智能节能与安全:强化隔热层降低能耗,搭载多重超温保护与流量监控系统,确保24小时连续稳定运行。
志昇半导体无氧化烤箱,以技术硬实力推动精密制造良率跃升,是您攻克氧化难题、实现高端产品量产的理想之选。


